******大学-竞价公告(CB************)
发布时间:2023-03-24 08:39:54 截止时间:2023-03-29 00:00:00
基本信息:
申购单号:CB************
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
申购主题:电子束蒸镀真空系统
送货时间:合同签订后7天内送达
******大学
安装要求:免费上门安装(含材料费)
报价要求:国产含税
收货地址:江苏省/镇江市/京口区/****
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:******
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:进口设备请务必填写原产地,否则视为无效报价。
申购明细:
采购内容:电子束蒸镀真空系统
数量:1.0
预算单价:288000.0
品牌:微纳真空
型号:定制
规格参数:品牌:微纳真空,或者英文:VNANO;型号:定制
1. 真空腔室:要求采用304不锈钢材质,尺寸小于800×800×900mm,前、后双开门,前门不少于2个观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm,配一套方便拆卸的防污板;腔体部分水冷;
2. 真空系统:主泵采用具有不低于5500m3/h抽吸能力的高性能分子泵,前级泵采用不低于50m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵,需配备旁抽;
3. 真空极限:2.6×10-7Torr;
4. 抽速:抽至10-6Torr≤20min;
5. 腔体漏率:保压12小时,真空腔室压强小于5Pa;
★6. 基片台:尺寸不小于6英寸方片,配一体式全尺寸挡板,挡板需要磁流体密封;基片台旋转且水冷,转速0-25转/分连续可调,需要磁流体密封;结构根据客户要求特殊设计,预留升级基片台加热、原位电学监测的所有真空标准接口;
★7. 电子束蒸发源:e型电子枪一支,枪功率不小于8Kw,电子枪高压稳定性:±1%;束流稳定性:±2%;抑弧反应时间<10ms;配6穴直冷式坩埚,坩埚配有电动防污挡板,具有高压灭弧自动复位功能;投标响应文件需注明电子枪品牌;
★1、提供******学校已有的“电子束蒸镀系统”和“手套箱”系统、“嘉课堂”实训系统进行无缝对******学校进校对接测试,如果无法对接成功,愿按虚假应标承担全部责任。
2、整机免费保修期2年,需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。
质保及售后服务:按行业标准提供服务
附件: