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江苏大学-电子束蒸镀真空系统-竞价公告

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信息时间:
2023-03-24
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******大学-竞价公告(CB************

发布时间:2023-03-24 08:39:54  截止时间:2023-03-29 00:00:00

基本信息:

申购单号:CB************

签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同

申购主题:电子束蒸镀真空系统

送货时间:合同签订后7天内送达

******大学

安装要求:免费上门安装(含材料费)

报价要求:国产含税

收货地址:江苏省/镇江市/京口区/****

发票类型:增值税专用发票

币种:人民币

预算:******

付款方式:货到验收合格后付款

备注说明:进口设备请务必填写原产地,否则视为无效报价。

申购明细:

采购内容:电子束蒸镀真空系统

数量:1.0

预算单价:288000.0

品牌:微纳真空

型号:定制

规格参数:品牌:微纳真空,或者英文:VNANO;型号:定制
1. 真空腔室:要求采用304不锈钢材质,尺寸小于800×800×900mm,前、后双开门,前门不少于2个观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm,配一套方便拆卸的防污板;腔体部分水冷;
2. 真空系统:主泵采用具有不低于5500m3/h抽吸能力的高性能分子泵,前级泵采用不低于50m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵,需配备旁抽;
3. 真空极限:2.6×10-7Torr;
4. 抽速:抽至10-6Torr≤20min;
5. 腔体漏率:保压12小时,真空腔室压强小于5Pa;
★6. 基片台:尺寸不小于6英寸方片,配一体式全尺寸挡板,挡板需要磁流体密封;基片台旋转且水冷,转速0-25转/分连续可调,需要磁流体密封;结构根据客户要求特殊设计,预留升级基片台加热、原位电学监测的所有真空标准接口;
★7. 电子束蒸发源:e型电子枪一支,枪功率不小于8Kw,电子枪高压稳定性:±1%;束流稳定性:±2%;抑弧反应时间<10ms;配6穴直冷式坩埚,坩埚配有电动防污挡板,具有高压灭弧自动复位功能;投标响应文件需注明电子枪品牌;
★1、提供******学校已有的“电子束蒸镀系统”和“手套箱”系统、“嘉课堂”实训系统进行无缝对******学校进校对接测试,如果无法对接成功,愿按虚假应标承担全部责任。
2、整机免费保修期2年,需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。

质保及售后服务:按行业标准提供服务

附件:

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